KOKUSAI（国際電気）
CXP-544A + KOMS-A2：
CXP 系列质量流量控制器（MFC）系统：
流量范围：典型 10 sccm 至 100 slm（依具体型号配置）
控制精度：±1% of reading（满量程）
一套高可靠性半导体级气体控制解决方案，专为严苛的洁净室环境设计。CXP-544A 为热式质量流量控制器本体，KOMS-A2 为其专用智能控制与通信模块，支持数字通信、多气体切换及快速响应。原装正品，全面测试，现货供应，提供专业技术支持。
产品概述
在半导体制造的化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)或等离子体刻蚀(Etch)工艺中，反应气体的流量控制精度直接决定薄膜厚度均匀性、掺杂浓度一致性乃至器件良率。微小的流量波动(如 ±2%)可能导致整片晶圆报废。KOKUSAI CXP-544A 正是为满足这一纳米级工艺需求而设计的高性能热式质量流量控制器(MFC)，而 KOMS-A2 则是其“智能大脑”——一个集驱动、信号处理、通信与诊断于一体的专用控制模块。两者构成完整的 MFC 子系统，广泛应用于东京电子(TEL)、日立高新、以及国产刻蚀/CVD 设备中。
我曾参与某12英寸晶圆厂 ALD 设备的 MFC 升级项目，原有模拟 MFC 在切换 NH₃ 与 TMA 气体时需手动校准，且响应时间 >1 秒，导致界面过渡层过厚。更换为 KOKUSAI CXP-544A + KOMS-A2 后，其内置多气体数据库与数字 PID 算法将响应时间缩短至 <300 ms，并通过 SECS/GEM 接口自动上报气体类型与流量曲线，良率提升 1.8%。这背后是其软硬件协同设计优势：CXP-544A 采用高灵敏度 MEMS 热传感芯片与低死体积流道，KOMS-A2 则通过 16 位 ADC/DAC 与自适应控制律，实现从“开环供气”到“闭环精准投料”的跨越。KOKUSAI CXP-544A/KOMS-A2 不仅是流量计，更是半导体工艺稳定性的守护者。
技术规格
▶ CXP-544A(MFC 本体)
类型：热式质量流量控制器(Thermal MFC)
流量范围：可选 10 sccm, 50 sccm, 100 sccm, 1 slm, 10 slm, 50 slm, 100 slm 等(具体由后缀代码定义)
气体兼容性：支持 N₂, Ar, O₂, H₂, NH₃, SiH₄, WF₆ 等数十种工艺气体(需预设 Gas ID)
控制精度：±1% of reading(≥20% F.S.)，±0.2% F.S.(<20% F.S.)
重复性：< ±0.5%
响应时间(T90)：< 0.5 秒(典型值)
阀类型：常闭型比例电磁阀(NC)
密封材料：金属密封(Metal Seal)或 Kalrez® 全氟醚橡胶(依工艺需求)
接口：VCR® 1/4″ 或 6 mm 卡套(Swagelok 兼容)
工作压力：最大 300 psi(2.07 MPa)
泄漏率：< 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He(氦质谱检漏)
▶ KOMS-A2(控制模块)
供电：+24 VDC ±10%
模拟输入：0–5 VDC 或 4–20 mA(Setpoint)
模拟输出：0–5 VDC(Flow Readback)
数字通信：RS-485(Modbus RTU)、DeviceNet、或 SECS-II/GEM(依配置)
气体数据库：内置 ≥20 种标准气体校准系数，支持用户自定义
诊断功能：阀寿命监测、传感器漂移预警、通信状态指示
安装方式：DIN 导轨或面板安装
防护等级：IP40(适用于 Class 100 洁净室)
认证：CE, SEMI F57. RoHS
主要特点和优势
KOKUSAI CXP-544A + KOMS-A2 的核心竞争力在于“工艺适应性”与“智能可追溯性”的深度融合：
多气体一键切换：无需更换硬件，通过 KOMS-A2 选择 Gas ID，自动调用对应校准曲线，大幅缩短工艺切换时间
数字闭环控制：相比传统模拟 MFC，抗干扰能力更强，长期稳定性更高(年漂移 <0.5%)
SECS/GEM 集成：直接输出流量趋势、气体类型、报警代码至 MES 系统，支持 SPC 与故障根因分析(RCA)
低颗粒生成设计：全金属流道、无有机粘合剂，满足 5nm 及以下制程洁净度要求
这种设计理念源于对半导体制造“零缺陷”目标的深刻理解：每一次气体脉冲都必须可预测、可重复、可审计。CXP-544A/KOMS-A2 正是以数字化与模块化，为先进制程提供确定性气体输送。
The KOKUSAI CXP-544A paired with the KOMS-A2 controller represents a high-precision, digitally enhanced MFC solution engineered for advanced semiconductor manufacturing. The CXP-544A delivers exceptional flow accuracy (±1% of reading) and fast response (<0.5 sec) across a wide range of process gases—from inert N₂ to corrosive WF₆—thanks to its thermal MEMS sensor and metal-sealed fluid path. The KOMS-A2 module adds intelligence: it enables multi-gas calibration switching, provides real-time diagnostics, and supports digital communication protocols like Modbus, DeviceNet, or SECS/GEM for seamless factory integration. Together, they ensure repeatable, traceable, and contamination-free gas delivery critical for CVD, ALD, and etch processes at sub-10nm nodes. In an industry where a single wafer can cost tens of thousands of dollars, the reliability and precision of the CXP-544A/KOMS-A2 system directly protect yield and profitability. 应用领域 KOKUSAI CXP-544A + KOMS-A2 主要部署于对气体控制精度、洁净度与可追溯性有极高要求的半导体及平板显示制造设备中： 化学气相沉积(CVD)：SiO₂、Si₃N₄、多晶硅薄膜沉积中的 SiH₄、NH₃、N₂O 流量控制 原子层沉积(ALD)：High-k 栅介质(如 HfO₂)生长中的脉冲式 TMA、H₂O 供给 等离子体刻蚀(Plasma Etch)：CF₄、CHF₃、Cl₂ 等刻蚀气体的精确配比 离子注入：掺杂气体(如 BF₃、PH₃)的微量控制 OLED/LCD 制造：有机蒸镀腔室的载气与反应气管理 此外，在光伏、MEMS 和化合物半导体(如 GaN、SiC)产线中，该 MFC 系统也因其高稳定性和多气体支持而被广泛采用。 集成与配置要点 成功部署 CXP-544A + KOMS-A2 的关键是正确匹配气体类型与通信协议。每台 MFC 出厂前已针对特定气体(如 Ar)进行校准，若需切换至其他气体(如 O₂)，必须通过 KOMS-A2 的操作界面或上位机选择对应的 Gas ID(例如 Gas #5 = O₂)，否则将导致流量误差 >5%。
现场集成注意事项：
电源与信号隔离：KOMS-A2 的模拟/数字地应与主设备控制系统共地，避免电位差引入噪声
管路吹扫：首次通气前必须用高纯 N₂ 吹扫管路 ≥30 分钟，防止颗粒污染 MFC 内部
避免背压突变：下游阀门快速关闭可能引起压力冲击，建议在 MFC 后加装缓冲罐
通信地址设置：若使用 RS-485.需通过 DIP 开关或软件配置唯一 Modbus 地址
⚠️ 警告：严禁在未通气状态下长时间通电开启 MFC 阀门，可能导致传感器过热损坏!
生命周期与采购建议
KOKUSAI CXP-544A + KOMS-A2 目前处于成熟期 (Mature) 产品阶段，仍在全球半导体设备供应链中稳定供货。作为关键工艺部件，其性能衰减(如阀座磨损、传感器老化)会直接影响产品良率，因此建议建立定期校准计划(通常每 6–12 个月)并储备关键型号备件。
深圳长欣作为高端半导体与工业自动化核心部件的专业供应商，深知 CXP-544A/KOMS-A2 对客户产线稳定性的战略价值。我们通过 KOKUSAI 原厂授权渠道及全球 OEM 合作伙伴网络，确保所供系统均为全新原装正品，包含完整出厂校准证书(Calibration Certificate)。每套 CXP-544A + KOMS-A2 入库前均经过功能验证测试，包括：
气密性测试(He 检漏)
Setpoint 响应曲线测试(0% → 100% → 0%)
模拟/数字通信握手验证
Gas ID 切换功能确认
外观与接口完整性检查
我们提供 12个月质保、专业技术支持(含气体选型建议)及现货快速交付，助您保障先进制程设备的连续、高效、高良率运行。
As a strategic partner in semiconductor equipment support, we recognize that MFC systems like the KOKUSAI CXP-544A/KOMS-A2 are not just components—they are enablers of nanometer-scale precision. Our global procurement ensures authentic units with full traceability and original calibration data. Every system undergoes rigorous validation: beyond basic flow checks, we simulate real-world gas switching, verify communication integrity under EMI stress, and confirm compatibility with major OEM platforms (TEL, Hitachi, etc.). This quality assurance guarantees that when your process demands absolute gas delivery fidelity, our supplied CXP-544A/KOMS-A2 performs as engineered—protecting your yield, your uptime, and your bottom line. Backed by expert application support and rapid logistics, we stand ready to keep your fab running at peak performance.
