描述
ZMI-2002 8020-0211-1-J
ZMI-2002 8020-0211-1-J是一款高性能的双轴测量板卡，主要用于精密位移和角度测量。其核心功能包括干涉测量技术、CMOS阵列传感器以及633 nm激光光源，能够提供小于1纳米的分辨率和±0.1微米的测量精度。
产品参数
测量轴数：双轴
分辨率：小于1纳米（<1 nm）
测量精度：±0.1微米（0.1µm）
工作温度范围：0°C至+40°C
尺寸：229 x 114 x 29 mm
重量：1.2 kg
接口类型：VME 6U，支持VME总线系统。
产品规格
光源：633 nm激光
传感器：CMOS阵列
测量范围：X轴50 mm，Y轴25 mm
IP等级：IP54
功率消耗：最大20W。
系列
ZMI-2002 8020-0211-1-J属于ZYGO公司的ZMI系列测量板卡，该系列专注于高精度光学测量设备，适用于科研、工业和精密制造领域。
特征
高精度测量：采用干涉测量技术和先进的数字信号处理算法，确保高精度测量。
双轴同步测量：可同时测量两个方向的位移，适用于复杂三维表面或轮廓的测量。
高兼容性：支持VME接口，便于集成到现有的系统中。
耐用设计：IP54防护等级，适应工业环境。
作用与用途
ZMI-2002 8020-0211-1-J的主要作用是实现高精度的位移和角度测量，广泛应用于以下领域：
工业自动化：用于精密机械部件的制造和质量控制。
科学研究：光学元件测试、表面形貌分析等。
电信：信号质量监测和稳定性控制。
半导体制造：晶圆检测、平板显示器制造等。
精密机械加工：用于精密零件的轮廓测量和表面粗糙度分析。
应用领域
ZMI-2002 8020-0211-1-J的应用领域非常广泛，包括但不限于：
光学元件制造（如镜片、透镜）。
半导体加工（如晶圆检测）。
精密机械部件制造（如模具、机械零件）。
科学研究（如光学实验、材料分析）。
工业自动化（如数控机床、机器人导航）
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ZMI-2002 8020-0211-1-J
