描述
ZMI-2002
ZMI-2002是一款由ZYGO公司研发的高性能双轴测量板，主要用于精密测量和控制系统。它采用干涉测量技术，能够实现高分辨率和低噪声的测量结果，适用于光学、半导体、精密机械等工业领域。
产品参数
测量轴数：双轴
分辨率：小于1纳米（1 nm）
测量精度：±0.1微米（0.1µm）
工作温度范围：0°C至+40°C
尺寸：229 x 114 x 29 mm，重量1.2 kg
接口类型：VME（Versa Module Eurocard）
电源要求：+5V±5%+3.5A
数据传输速率：最高7.7 MHz
产品规格
尺寸：6U VME板卡
光源：633 nm激光
传感器阵列：CMOS阵列
保护等级：IP54
产品系列
ZMI-2002属于ZYGO的ZMI系列，该系列还包括其他型号如ZMI-4104双轴测量板。
特征
高精度测量：支持微米甚至纳米级别的测量精度。
双轴测量能力：可同时测量两个正交轴上的位移。
简化接口设计：支持P2接口，便于多个电路板总线连接。
高采样率：实时捕捉快速变化的信号。
强大的信号处理功能：采用先进的信号处理算法。
作用与用途
ZMI-2002主要用于精确测量和控制系统，包括但不限于以下方面：
光学元件制造：用于光学仪器、镜头和相机镜片的生产。
半导体制造：用于芯片制造、封装测试。
精密机械加工：测量精密机械零件表面粗糙度和轮廓。
科学研究：用于实验数据采集和精密测量。
工业自动化：适用于数控机床、冶金机械、石油化工等领域。
应用领域
ZMI-2002广泛应用于多个领域，包括但不限于：
光学制造
半导体设备
精密机械
科学研究
工业自动化
医疗成像设备
ZMI-2002
