描述
产品深度介绍
在半导体或光伏镀膜工艺中，真空腔体里的压力是毫托（mTorr）级的，这个精度用常规的压力表根本测不准。MKS Instruments 902-1112 就是干这个活的。它是一款压电式压力变送器，专门为从大气压到中高真空的范围测量设计，在工艺气体控制环节是常用件。
讲真，在真空测量里，压电传感器反应快是出了名的。902-1112 的核心优势在于它对腐蚀性气体的耐受性。它的传感器膜片和内部流道采用了特殊处理，配合Viton®或Kalrez®这类耐腐蚀密封材料，能应付很多工艺气体。信号输出是简单的0-10Vdc，直接进PLC或DCS的模拟量输入卡就行，比如接在ABB AC800M 系统上。不过，用之前得在控制面板上设定好对应的量程，不然读数不对。
关键技术规格
| 参数项 | 规格/描述 |
|---|---|
| 制造商型号 | 902-1112 |
| 对应ABB备件号 | 3BSE023659R1 |
| 工作原理 | 压电电阻式 |
| 压力单位 | Torr, mbar 可选 |
| 典型量程 (示例) | 0-10 Torr, 0-100 Torr, 0-1000 Torr (具体以实物标签为准) |
| 输出信号 | 模拟量 0-10 Vdc 或 0-5 Vdc |
| 供电要求 | +15 Vdc 至 +30 Vdc (通常+24Vdc) |
| 精度 | 满量程的 ±0.5% (典型值) |
| 重复性 | 满量程的 ±0.25% |
| 零点输出 | 0.0 ±0.1 Vdc (在<1.0E-4 Torr真空下) |
| 满度输出 | 10.0 ±0.1 Vdc (在额定满量程压力下) |
| 介质兼容性 | 适用于腐蚀性与非腐蚀性气体 (依赖密封材料) |
| 过程连接 | 1/4″ VCR® 或 CF 法兰 (常见) |
| 电气连接 | 工业标准D-sub连接器 |
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