描述
产品深度介绍
1579A 是 MKS 在德国工厂投产的弹性体密封高流量 Mass-Flo® 控制家族，1579A00412LM1BV 则是家族里按氩气 100 slm 满量程标定的模拟量接口机型——设定信号与流量反馈均为 0-5 VDC，通过 15 针 D 型连接器与 MKS 单/双/四/八通道电源读出单元配套使用。先说一个采购常见误区：第三方渠道把它叫作 “Analog Output Unit”（模拟量输出单元），但严格说它不是一块独立的 D/A 板卡——MKS 官方手册里的 “Analog Unit” 指的是带模拟 I/O 的 MFC 整机，跟 Profibus 型号（9 针接口）相对。
型号后缀逐段可解，这也是这块表最值钱的信息。004 是 SEMI 气体代码里的氩气，12L 对应 100 slm 标定量程，M 表示 12 mm Swagelok 卡套接头，1 是常闭控制阀，B 指模拟量 15 针 D 型电气接口，V 是 Viton 标准密封——和流通市场实物标签 “AR 100SLM” 完全对得上。性能端的数据也扎实：±1% FS 精度（含非线性、迟滞与不可重复性）、±0.2% FS 重复性、2%-110% 控制范围、响应 <0.5 s，这套组合在 100 slm 高流量段撑得起刻蚀、溅射、退火类工艺的气体配送。氩气修正系数 GCF 为 1.391，拿它切氮气标定表做别的气体时直接查表换算即可。
关键技术规格
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | 1579A00412LM1BV |
| 产品类别 | 模拟量接口质量流量控制器 (Analog MFC) |
| 标定气体 / 满量程 | 氩气 (Argon)，100 slm（N₂ 当量） |
| 精度 | ±1% FS（含非线性、迟滞、不可重复性） |
| 重复性 | ±0.2% FS |
| 控制范围 | 2.0% – 110% FS |
| 响应时间 / 调节时间 | < 0.5 s / < 1 s（SEMI E17-91 条件） |
| 测量分辨率 | 0.1% FS |
| 设定 / 输出信号 | 0-5 VDC（输出上限 +5.5 V，最小负载 >10 kΩ） |
| 供电要求 | 20.5 – 30.0 VDC，300 mA |
| 工作压差（100 slm 档） | 1.9 – 2.8 bar (g) |
| 最大入口压力 | 6.8 bar (g) |
| 压力系数 | 0.3% 读数 / bar |
| 温度系数 | 零点 <0.05% FS/°C；量程 <0.10% 读数/°C |
| 工作 / 存储温度 | 15 – 40°C / -20 – 80°C |
| 预热时间 | 约 30 分钟 |
| 电气接口 | Sub-D 15 针（模拟量型） |
| 气体接头 | 12 mm Swagelok 卡套兼容 |
| 控制阀 | 常闭 (NC)，可独立于设定值远程开关阀 |
| 泄漏率 | 外漏 <1×10⁻⁹ mbar·l/s He；阀关断 <0.1% FS |
| 湿润材料 | 316L SST 阀体 / 镍阀座 / Viton 密封（可选 Buna-N、Neoprene、Kalrez） |
| 重量 | 约 2,050 g |
| 认证 | CE（2004/108/EC）、EN 61326、EN 55011 Group 1 Class A |
| RoHS 说明 | 1579B 为 RoHS 合规版本，1579A 为前代非 RoHS 构建 |
| 维护建议 | MKS 官方推荐每年返厂校准 |
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