描述
ASML 4022.480.99404
ASML 4022.480.99404是一款用于光刻设备的高精度传感器模块,主要用于光刻机中的位置检测和反馈控制。该模块能够提供高精度的位置信息,确保光刻过程中晶圆的精确对准和图案的高分辨率传输。
产品参数
型号:4022.480.99404
功能:高精度位置传感器
精度:纳米级位置检测精度
工作电压:24V DC
功耗:最大50W
工作温度:15°C至35°C
存储温度:-20°C至60°C
尺寸:150mm x 100mm x 30mm
重量:约0.8kg
接口:支持多种数字和模拟信号接口
防护等级:IP54
优势和特点
高精度检测:能够提供纳米级的位置检测精度,确保光刻图案的高分辨率传输。
高可靠性:采用高品质材料和制造工艺,确保长期稳定运行。
动态响应:具备快速的动态响应能力,能够满足光刻机高速运行的需求。
集成诊断功能:内置诊断功能,可实时监控传感器状态,便于故障排除。
兼容性强:与ASML的多种光刻设备高度兼容。
应用领域和应用案例
半导体制造:用于光刻机的位置检测和反馈控制,支持高精度光刻工艺。
科研与实验:用于高精度光学实验设备,提供精确的位置反馈。
工业自动化:用于高精度的工业自动化设备,如激光切割、激光焊接等。
竞品对比
技术优势:ASML的高精度传感器模块在精度和动态响应方面优于其他竞争对手。
可靠性:具备完善的保护机制和长寿命设计。
兼容性:与ASML的多种光刻设备高度兼容。
选型建议
工艺需求匹配:如果需要高精度和高可靠性的位置传感器,ASML 4022.480.99404是理想选择。
技术支持:建议选择能够提供长期技术支持和维护服务的供应商。
环境要求:确保设备安装在符合要求的环境中,避免高温、高湿度和灰尘。
注意事项
专业安装与维护:建议由经过培训的专业技术人员进行安装和维护。
定期校准:定期进行设备校准,确保长期稳定运行。
环境控制:使用环境应保持清洁,维持恒定的温度和湿度
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4022.480.99404

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