产品核心摘要
- 型号： 902-1112
- 品牌： MKS Instruments（HPS 真空产品线）
- 系列： 902 系列压电真空计 / PVD21
- 核心功能： 从大气压到粗真空区间的绝对压力测量，读数不依赖气体种类
- 产品类型： 绝对压电式真空传感器（Absolute Piezo Vacuum Transducer）
- 关键规格： 量程 0.1–1000 Torr 绝压；精度 ±1 % 读数（100–1000 Torr）；KF16（NW16 ISO-KF）真空接口；0–10 VDC 线性输出 + RS485；9–30 VDC 供电
- 成色： 全新原装（New Surplus），非翻新
- 价格说明： 标价为参考价，非最终成交价；实际价格随行就市，可议价，建议联系询价确认当期库存与交期
产品深度介绍
真空测量里最容易踩的坑，是拿热传导规（皮拉尼）去测变气体组分的工艺——气体一换，读数就飘。902-1112 走的是另一条路：硅膜片上的压阻电桥直接测压力，膜片背面封的是真空参考腔，所以测量结果与气体种类无关，工艺气体怎么切换都不用重新标定。这一点在 PVD、CVD 这类反应气体轮换的腔体上特别值钱。
它的定位是”粗真空到大气压”这一段的主力。0.1–1000 Torr 覆盖装料室（load lock）破空、粗抽、预抽全过程，1000 Torr 往下到 100 Torr 精度能到 ±1 % 读数。厂家自己也讲清楚：1 Torr 以下的关键测量不建议用它，那个区间该上电容薄膜规（Baratron）。用对区间，它是性价比很高的一档；拿它去测高真空，就是花钱买不准。
耐造是另一个卖点。全固态压阻结构，没有灯丝、没有易碎的陶瓷，气流冲击和振动都不怕——破空时那一下”砰”，热传导规的灯丝可能就废了，它没事。316 不锈钢是唯一接触真空的部件，任意方向都能装。通讯上模拟量 0–10 VDC（10 mV/Torr，线性）直接进 PLC 模拟量卡，RS485 则能读更精细的压力值并做参数配置，一路 SPDT 继电器做设定点控制，响应时间 ≤50 ms。
关键技术规格
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 订货号 | 902-1112 |
| 制造商 / 系列 | MKS Instruments（HPS 真空产品线）；902 系列 / PVD21 |
| 产品类型 | 绝对压电（压阻）式真空传感器 |
| 测量原理 | MEMS 硅压阻电桥 + 真空参考腔；带温度补偿电路 |
| 满量程 | 1000 Torr（绝压） |
| 有效测量范围 | 0.1 – 1000 Torr（部分资料标注自 10 Torr 起为高精度段） |
| 精度 | 100–1000 Torr：≤ ±1 % 读数；10–100 Torr：≤ ±5 % 读数 |
| 重复性 | 100–1000 Torr：±0.3 % 读数；10–100 Torr：±1 % 读数 |
| 分辨率 | 约 1 × 10⁻⁴ 满量程 |
| 模拟输出 | 0–10 VDC（线性，10 mV/Torr）或 0–5 VDC；线性/对数可选 |
| 数字通讯 | RS485（部分配置含 RS232），支持压力读取、诊断与参数设置 |
| 设定点继电器 | 1 路 SPDT，1 A / 30 VAC·DC，响应 ≤ 50 ms |
| 供电 | 9–30 VDC（常见 24 VDC）；功耗 < 0.5–1.2 W |
| 过程接口 | NW16 ISO-KF（KF16）真空法兰 |
| 接液材质 | 316 / 304 不锈钢膜片，Viton® 或 Kalrez® 密封 |
| 超压极限 | 1500 Torr（部分资料标 2000 Torr，以实物铭牌为准） |
| 工作温度 | 0 °C 至 +50 °C |
| 最高烘烤温度 | 85 °C（部分资料标 100 °C），非工作状态下 |
| 温度系数 | 零点 0.02 % FS/°C；量程 0.02 % 读数/°C |
| 安装方向 | 任意方向 |
| 防护等级 / 材质 | IP40；不锈钢外壳/法兰 |
| 尺寸 / 重量 | 约 4 × 4 × 6.3 cm（估）；约 0.1–0.17 kg（KF16 型） |
| 认证 | CE 标志，符合 EMC 指令 89/336/EEC |
| 原产地 | 德国（部分批次标注美国） |
