MKS 852B-13384 Baratron压力传感器 半导体真空测量专用

产品核心摘要

• 型号：852B-13384
• 品牌：MKS Instruments（美国）
• 系列：Baratron® 电容薄膜真空计
• 核心功能：为半导体工艺腔体提供不受气体成分影响的绝压测量基准
• 产品类型：绝压压力传感器 / 压力变送器
• 关键规格：0~13,384 Pa（约100 Torr），±0.1% F.S.，响应≤1 ms
• 成色：全新原装（New Surplus），非翻新

产品深度介绍

半导体设备工程师最怕的不是传感器坏了，而是它“看起来没坏但读数在飘”。刻蚀腔体的压力偏差0.5%，线宽就偏了，整批晶圆报废。MKS 852B-13384 就是用来解决这种“隐性失效”的。

它属于Baratron电容薄膜系列，测量原理和压阻式完全不同——一块极薄的金属膜片在两侧电极间的位置变化被转换成电容信号。关键差别在这：它测的是绝对压力，跟腔体里是氩气、氮气还是反应副产物没有关系。PVD工艺里气体切换频繁，热导式真空计需要反复校准气体修正系数，这款不需要。0~13,384 Pa的量程覆盖了从粗真空到接近大气压的区间，响应时间做到毫秒级。精度标称±0.1% F.S.，说实话这个数字在同类产品里属于“敢写出来就说明有底气”的级别。价格确实不便宜，但在刻蚀、CVD这类压力直接挂钩良率的工序上，省下的调试时间和报废成本远比采购价差可观。

关键技术规格