产品概述
Agilent 5517B是Keysight Technologies（原Agilent/HP）公司生产的一款高性能、高稳定度氦氖（HeNe）激光源，专为精密双频激光干涉仪测量系统设计。该激光头是Keysight激光干涉仪系统中的核心组件，能够提供高度稳定和精确的633 nm波长激光，用于进行极高精度的位移、速度、角度、直线度、平面度等测量，广泛应用于需要亚微米甚至纳米级测量精度的领域。
在系统架构中，Agilent 5517B采用塞曼分裂（Zeeman splitting）技术，产生两个频率略有不同的正交偏振光束，这两个光束是进行干涉测量所必需的。激光头提供高度稳定和精确的633 nm红色氦氖激光，真空波长稳定性在1小时内可达2 ppb（十亿分之一），在整个生命周期内可达20 ppb，确保了测量结果的长期可靠性。模块的平均无故障时间（MTBF）通常超过50,000小时，以其卓越的可靠性而闻名。
Agilent 5517B主要用于VME和PC-based的激光干涉仪系统，特别适用于对运动速度要求相对较低的应用场景，如机床、半导体制造设备、计量实验室等。激光束直径为6 mm，最小输出功率为120µW，最大输出功率为1 mW，光束高度设计为79.5±1.0 mm。预热时间约为90分钟，达到稳定工作状态后即可进行高精度测量。
技术规格
产品型号：5517B
制造商：Keysight Technologies（原Agilent/HP）
产品类型：氦氖激光源
所属系列：Keysight激光干涉仪系统
激光类型：双频氦氖（HeNe）激光
波长：633 nm
输出功率：最小120µW，最大1 mW
光束直径：6 mm
光束高度：79.5±1.0 mm
真空波长稳定性：1小时内±2 ppb，生命周期内±20 ppb
预热时间：约90分钟
平均无故障时间：>50,000小时
工作温度：0-50°C
存储温度：-20°C至+80°C
应用领域：精密定位测量、位移测量、速度测量、角度测量、直线度测量、平面度测量
适用系统：VME激光干涉仪系统、PC-based激光干涉仪系统
测量精度：亚微米至纳米级
防护等级：工业级设计
认证标准：CE认证
产地：美国
订货号：5517B
主要特点和优势
Agilent 5517B的核心竞争力体现在其高稳定度激光源、高精度波长稳定性和卓越的可靠性三大方面。该激光头采用塞曼分裂技术，产生两个频率略有不同的正交偏振光束，为双频干涉测量提供基础。其真空波长稳定性在1小时内可达2 ppb，在整个生命周期内可达20 ppb，确保了测量结果的长期可靠性和准确性。
在性能方面，Agilent 5517B提供高度稳定和精确的633 nm红色氦氖激光，光束直径为6 mm，输出功率范围为120µW至1 mW。激光束高度设计为79.5±1.0 mm，便于与各种光学元件和测量系统集成。预热时间约为90分钟，达到稳定工作状态后即可进行高精度测量，满足快速启动和连续工作的需求。
可靠性是该产品的另一大亮点。Agilent 5517B的平均无故障时间（MTBF）通常超过50,000小时，以其卓越的可靠性而闻名。激光头采用工业级设计，工作温度范围为0-50°C，存储温度范围为-20°C至+80°C，适应各种工业环境。其模块化设计便于与Keysight的其他激光干涉仪组件（如接收器、光学器件、测量板卡等）无缝集成，构建完整的测量系统。
高稳定度激光源：采用塞曼分裂技术，产生双频正交偏振光束
高精度波长稳定性：1小时内±2 ppb，生命周期内±20 ppb
卓越可靠性：平均无故障时间>50,000小时
高精度测量：633 nm波长激光，亚微米至纳米级测量精度
快速预热：约90分钟达到稳定工作状态
工业级设计：工作温度0-50°C，适应恶劣工业环境
易于集成：与Keysight激光干涉仪系统无缝集成
宽功率范围：120µW至1 mW输出功率
标准光束高度：79.5±1.0 mm，便于光学系统集成
多种应用：位移、速度、角度、直线度、平面度测量
长期稳定性：生命周期内保持高精度性能
低维护成本：长寿命设计，减少维护频率
The Agilent 5517B is a high-performance,high-stability helium-neon(HeNe)laser source designed for precision dual-frequency laser interferometer measurement systems.Featuring a 633 nm wavelength with vacuum wavelength stability of±2 ppb per hour and±20 ppb over its lifetime,this laser head provides the foundation for sub-micron to nanometer-level measurement accuracy.With an output power range of 120µW to 1 mW and a beam diameter of 6 mm,the 5517B delivers exceptional reliability with a mean time between failures(MTBF)exceeding 50,000 hours.Its Zeeman splitting technology generates two orthogonally polarized beams with slightly different frequencies,essential for interferometric measurements.The laser head achieves stable operation within approximately 90 minutes of warm-up and maintains consistent performance across a 0-50°C operating temperature range.Designed for seamless integration with Keysight’s laser interferometer systems,the 5517B is the core component for displacement,velocity,angle,straightness,and flatness measurements in applications ranging from machine tools and semiconductor manufacturing equipment to metrology laboratories.
应用领域
Agilent 5517B在精密测量和工业自动化领域具有广泛的应用前景，特别适用于对测量精度要求极高的关键工业领域。在机床行业，该激光头主要用于数控机床、加工中心、车床、铣床、磨床等设备的定位精度检测、几何精度补偿和动态性能测试。通过激光干涉仪系统，5517B能够实时监测机床各轴的定位误差、直线度误差、角度误差等关键参数，为机床精度补偿和性能优化提供数据支持。
在半导体制造行业，Agilent 5517B应用于光刻机、晶圆检测设备、精密定位平台等关键设备，用于亚微米甚至纳米级的定位精度测量和校准。在光刻机中，该激光头用于工作台定位精度测量、掩模台同步控制、镜头畸变补偿等关键环节，确保光刻图形的对准精度和分辨率。在晶圆检测设备中，5517B用于缺陷检测系统的精确定位和扫描控制，提高检测效率和准确性。
在计量实验室和科研机构，Agilent 5517B用于长度基准传递、精密仪器校准、材料性能测试等应用。通过激光干涉仪系统，该激光头能够实现纳米级的分辨率和测量精度，为计量标准提供可靠的技术支撑。在航空航天领域，5517B用于航空发动机叶片轮廓测量、飞机结构件形位公差检测、卫星天线反射面精度测量等关键应用，确保产品的质量和性能。
机床行业：数控机床、加工中心、车床、铣床、磨床的定位精度检测和几何精度补偿
半导体制造：光刻机、晶圆检测设备、精密定位平台的定位精度测量和校准
计量实验室：长度基准传递、精密仪器校准、材料性能测试
航空航天：航空发动机叶片测量、飞机结构件检测、卫星天线精度测量
汽车制造：发动机零部件测量、车身尺寸检测、装配精度控制
光学制造：光学元件面形测量、镜头焦距测量、光学系统装调
精密机械：精密工作台定位精度测量、机器人运动精度标定
科研机构：物理实验、材料研究、纳米技术研究
电子制造：PCB板检测、微电子封装精度测量
医疗器械：医疗设备精度检测、手术机器人定位精度校准
集成与配置要点
Agilent 5517B的集成配置主要在Keysight激光干涉仪系统的工程环境中进行。在配置过程中，首先需要确认激光头的固件版本与控制系统版本兼容，建议使用Keysight官方推荐的最新版本组合，避免因版本不匹配导致的通信异常或功能受限。激光头通过光学接口与干涉仪系统的接收器、光学器件、测量板卡等组件连接，需确保光学路径清洁、对中准确、光路稳定。
在硬件安装方面，Agilent 5517B采用模块化设计，通过机械接口固定在光学平台上或设备机架上。安装前需确认供电电源电压符合要求，电源极性正确连接。激光头与接收器之间的光路需保持清洁，避免灰尘、油污等污染物影响光束质量。激光束高度为79.5±1.0 mm，需根据实际应用调整光学元件的高度和角度，确保光束正确入射到接收器。
在软件配置中，Agilent 5517B通过Keysight激光干涉仪系统软件进行参数设置和测量控制。配置测量参数时，需要根据应用需求设置测量范围、分辨率、采样率、滤波参数等。配置环境补偿时，需要设置温度补偿、气压补偿、湿度补偿等参数，以消除环境因素对测量精度的影响。激光头内置的诊断功能能够实时监测激光功率、波长稳定性、光束质量等参数，并通过通信接口上传到上位机系统。
软件平台：使用Keysight激光干涉仪系统软件进行组态
固件版本：确保激光头固件与控制系统版本兼容
电源连接：确认供电电压和极性正确
光学路径：保持光路清洁，确保光束质量
光束对中：调整光学元件高度和角度，确保光束正确入射
测量参数：设置测量范围、分辨率、采样率、滤波参数
环境补偿：设置温度、气压、湿度补偿参数
诊断功能：启用实时监测功能，监测激光功率、波长稳定性
预热时间：预留约90分钟预热时间，达到稳定工作状态
调试测试：进行光路校准、精度验证、重复性测试
备份恢复：定期备份配置数据，确保系统故障时快速恢复
生命周期与采购建议
Agilent 5517B目前处于产品的”成熟期”（Mature Phase），Keysight Technologies继续提供完整的产品生命周期服务，包括备件供应、技术支持、预防性维护和维修升级服务。虽然该型号已逐步被更高性能的新型号替代，但Keysight承诺为存量系统提供长达15年以上的备件供应和技术支持，确保现有系统的长期稳定运行。
对于采购建议，Agilent 5517B主要适用于以下场景：一是作为现有Keysight激光干涉仪系统的备件采购，用于替换故障激光头或作为关键备件库存；二是用于老旧系统升级改造项目，作为过渡方案或兼容性解决方案；三是用于非关键应用或预算受限的项目，在满足性能要求的前提下降低采购成本。对于新建项目，建议优先考虑Keysight最新的激光干涉仪系统产品，以获得更好的性能、更长的生命周期支持和更低的总体拥有成本。
深圳长欣自动化设备有限公司作为Keysight产品的专业供应商，所有Agilent 5517B产品均经过全球渠道采购，经过严格的全面检测与功能验证，确保功能完好。我们提供12个月质保与专业技术支持，现货供应，交付快速。针对紧急需求，我们可提供加急配送服务，确保客户的测量系统尽快恢复正常运行。我们的技术团队具备丰富的Keysight产品应用经验，可为客户提供从选型、安装、调试到维护的全方位技术支持。
As an authorized Keysight supplier,Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.,Ltd.ensures that all Agilent 5517B products are sourced through global channels and undergo rigorous comprehensive testing and functional verification to guarantee optimal performance.We provide a 12-month warranty and professional technical support,with stock availability for fast delivery.For urgent requirements,we offer expedited shipping services to ensure customers’measurement systems resume normal operation as quickly as possible.Our technical team possesses extensive experience in Keysight product applications and can provide comprehensive technical support covering selection,installation,commissioning,and maintenance.We maintain a global procurement network to ensure stable supply chain management and competitive pricing,while adhering to Keysight’s quality standards and technical specifications to deliver reliable measurement solutions for our customers.
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